中国国内极紫外 (EUV) 光刻技术的发展并非遥不可及。目前，华为东莞工厂正在测试的最新系统利用激光诱导放电等离子体 (LDP) 技术，代表了一种具有颠覆性的 EUV 光生成方法。该系统计划于 2025 年第三季度进行试生产，并计划于 2026 ...