这些计算机芯片推动了当今人工智能、高性能超级计算机和智能手机领域的惊人创新。 如今,由LLNL领导的一个新的研究合作伙伴关系旨在为下一代极紫外(EUV)光刻技术奠定基础,该技术围绕实验室开发的驱动系统——大口径铥(BAT)激光系统展开。这一突破 ...
快科技1月6日消息,美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)正在研究一种效率比传统CO2 EUV激光器高10倍的激光器,这将为下一代EUV光刻技术发展奠定 ...
9月,佳能交付了一种技术的首个商业版本,该技术有朝一日可能颠覆最先进硅芯片的制造方式。这种技术被称为纳米压印光刻技术(NIL,nanoimprint lithography),它能够绘制出小至14纳米的电路特征——使逻辑芯片达到与英特尔、超微半导体(AMD)和英伟达现正 ...
历经六十余载发展,成就斐然。 在产品方面,以半导体光罩与晶圆检测设备为主,核心产品 EUV 光刻制造测试设备更是独树一帜,全球唯有它为 EUV ...
该激光器的效率号称是目前ASML EUV光刻机中使用的二氧化碳(CO2)激光器的 10 倍,并有望在多年后取代光刻系统中的 CO2 激光器。 过去数十年来 ...
美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室(LLNL)宣布开发出了一种名称为大孔径铥 (BAT) 激光器,旨在为极紫外 (EUV) 光刻技术的下一步发展奠定基础。
NIL 系统提供的优势可能会挑战价值 1.5 亿美元的机器,这些机器在当今先进的芯片制造中占据主导地位,即极紫外 (EUV) 光刻扫描仪。如果佳能是 ...