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哈工大的曙光让ASML沉默，中芯国际等一台国产EUV
近期国产光刻机领域的一个重要突破是哈工大官方官宣搞定13.5纳米极紫外光源，但这个消息出来这么久了，美国、ASML与台积电一直保持沉默 ...